Basic HTML Version
124
Výzkum a vývoj polovodičů v Tesle Rožnov
struktérů“, která dostala na starost návrh struktury polovodičových součástek a technologické skupiny odpovídající
za vývoj jednotlivých technologických operací (epitaxe, difuze, napařování, fotolitografie). Tento systém se s určitými
obměnami vlastně udržel až do dnešních dnů.
O práci vývojových pracovníků
Vzhledem k poměrně značnému předstihu technické a technologické úrovně západních zemí před zeměmi východ-
ního bloku bylo nezbytnou součástí práce vývojových pracovníků intenzivní studium informací publikovaných v za-
hraniční technické literatuře, především časopisecké. Pro konstruktéry byly důležité zejména rozbory nakoupených
součástek (měření jejich parametrů a charakteristik, rozbory povrchové a vnitřní struktury po rozpouzdření). Pro
technology bylo nutné stanovit závislosti a citlivosti vyvíjených procesů na nastavených parametrech, požadavky na
kvalitu a čistotu výchozích surovin, seznámit se z konstrukcí technologických zařízení, materiálů použitých k jejich
výrobě a mnoho dalších potřebných informací.
Vzhledem k velmi omezeným možnostem nákupu technologických zařízení od západních výrobců (dnes už poně-
kud neznámé omezení jako embargo, devizové limity) byl vývoj technologických procesů úzce propojen s vlastním
vývojem potřebných technologických zařízení. Vývoj technologických zařízení se odehrával na různých úrovních
(pokusná zařízení, vývojová zařízení, výrobní zařízení) a na různých pracovištích (v rámci VaV, VVTZ = Vývoj a výroba
technologických zařízení v Tesle Rožnov, Tesla Elstroj Praha). Snad první technologické zařízení pro polovodiče ze Zá-
padu – epitaxní reaktor Radyne – bylo dovezeno díky uvolnění v roce 1968. V těchto podmínkách vyvinutá zařízení
většinou nedosahovala kvality a spolehlivosti zařízení nabízených úzce specializovanými západními výrobci, kteří
měli navíc k dispozici sortiment kvalitních materiálů, spolehlivých dílů, regulátorů, ventilů a dalších součástí. Spolu-
práce v rámci RVHP (Rada vzájemné hospodářské pomoci) se ve výrobě začala znatelně rozvíjet až v 80. letech (ze-
jména s NDR – Elektromat Drážďany). I pro doma vyvinuté zařízení bylo často potřeba některé klíčové díly dovážet
a jejich dovoz plánovat nejméně s ročním předstihem.
V podmínkách, které tu panovaly, nemohla samozřejmě práce na vývoji polovodičových součástek a na technolo-
gii jejich výroby vést k nějakým„zásadním objevům“. Ale jejich úspěch byl jednoznačně závislý na hloubce znalosti
používaných technologických procesů a také principů a mechanismů všech fyzikálních a chemických dějů, které je
ovlivňují. Tyto znalosti se jen zřídka získávaly z cizích zdrojů. Ochota k jejich předávání byla řídkým jevem i při „bra-
trské spolupráci“ pracovišť zemí v rámci RVHP. Většinou se daly získat jen vlastní cílevědomou prací. Působení pra-
covníků Tesly Rožnov v zahraničních firmách i výsledky dosažené v nástupnické firmě po roce 1989 ukazují, že jejich
úroveň byla velmi slušná.
RNDr. Jaromír Mikušek